中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺電子束蒸發儀、磁控濺射儀采購項目中標公示

發布日期:2021-01-21

一、項目編號:

采招中心編號:HZ20200201-0219

采購代理編號:0623-2081N1106080

二、項目名稱:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺電子束蒸發儀、磁控濺射儀采購項目

  • 供應商投標情況:

第一包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺電子束蒸發儀采購項目

供應商信息名稱

資格性

審查結果

符合性

審查結果

投標報價(元)

綜合

得分

推薦

排名

是否成交

候選人

科特萊思科(上海)商貿有限公司

審核通過

審核通過

1795000

77.56

1

昊臣機電(上海)有限公司

審核通過

審核通過

1680000

76.6

2

廣州景帆國際進出口有限公司

審核通過

審核通過

1797000

68.22

3

廣州市晞靈國際貿易有限公司

審核通過

審核通過

1798800

67.19

4

 

 

第二包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺磁控濺射儀采購項目

供應商信息名稱

資格性

審查結果

符合性

審查結果

投標報價(元)

綜合

得分

推薦

排名

是否成交

候選人

湖南華圖智能科技有限公司

審核通過

審核通過

2498500

98.22

1

長沙碩德科技有限公司

審核通過

審核通過

2428800

78.58

2

昊臣機電(上海)有限公司

審核通過

審核通過

2430000

77.57

3

深圳摩世達科技有限公司

審核通過

審核通過

2457000

76.19

4

科特萊思科(上海)商貿有限公司

審核通過

審核通過

2400000

71

5

 

四、中標信息

第一包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺電子束蒸發儀采購項目

供應商名稱:科特萊思科(上海)商貿有限公司

供應商地址:中國(上海)自由貿易試驗區張衡路1000弄31-32號

中標金額:2498500元

第二包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺磁控濺射儀采購項目

供應商名稱:湖南華圖智能科技有限公司

供應商地址:湖南省長沙市岳麓區望月湖街道銀盆南路066號601房

中標金額:2498500元

 

五、主要標的信息

第一包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺電子束蒸發儀采購項目

分項項目名稱

(標的名稱/條目號/品目名稱)

規格型號

(或項目特征描述)

品牌

產地

數量/單位

金額(元)

備注

1

鍍膜工藝腔

304不銹鋼方形腔室

Kurt J.Lesker

美國

一臺

85000

 

2

真空泵系統

CTI低溫泵+愛德華

干泵

EDWARDS

美國/英國

1套

370000

 

3

真空測量系統

KJLC 392系列全量

程真空計

Kurt J.Lesker

美國

1套

135000

 

4

系統框架

開放式框架

Kurt J.Lesker

美國

1套

153500

 

5

電子蘇發系統

KL-8型電子槍、

6x20CCt坩堝、

Kurt J.Lesker

德國

1套

450000

 

6

膜厚控制系統

軟件集成膜厚控制

Kurt J.Lesker

美國

1套

185000

 

7

控制系統及工作

eKLipse毗軟件

Kurt J.Lesker

美國

1套

375000

 

8

配件(晶振片)

KJLCRYSTAL6-G10

Kurt J.Lesker

美國

5盒

2500

 

9

配件(石墨垣

EVCFABEB-29

Kurt J.Lesker

美國

9個

9000

 

10

冷水機

H5-KJ,制冷量5kw

同洲維普

中國

1套

30000

 

第二包:中南大學高等研究中心微納加工與器件制造平臺磁控濺射儀采購項目

分項項目名稱

(標的名稱/條目號/品目名稱)

規格型號

(或項目特征描述)

品牌

產地

數量/單位

金額(元)

備注

1

主反應腔室

AJA 304 S/S不銹鋼超高真空反應腔體,腔室尺寸15.6"高 x 14"外徑

AJA

美國

1 套

361200

 

2

樣品臺

最大容納直徑4英寸的基片;最高加熱溫度850℃,溫控精度±1℃

AJA

美國

1 套

113000

 

3

磁控濺射靶槍

AJA 2 英寸超高真空磁控濺射靶槍;靶槍采用稀土磁鐵,可以承受 200℃

高溫和 10-11Torr 真空環境

AJA

美國

6 套

654000

 

4

射頻電源

AJA 300W射頻電源,自動匹配網絡,含電纜

AJA

美國

2 套

210000

 

5

脈沖直流電源

TruPlasma DC 4000系列脈沖直流電源2KW

TRUMPF

德國

1 套

133500

 

6

真空泵組

主腔室一套:Pfeiffer 700 l/s寬量程渦輪分子泵以及8.8 cfm

(NeoDry15)干式機械泵

預真空室一套:80l/s寬量程復合渦輪分子泵以及4cfm機械前級泵

Pfeiffer

德國

2 套

330000

 

7

電源轉換器

SBRF-4-A(射頻)/SBDC-4-A(脈沖直流)

AJA

美國

2 套

50000

 

8

氣路

MKS質量流量控制計(Ar-100sccm, O2、N2-20sccm),帶氣動隔離閥和

過濾器

 

MKS

 

美國

 

3 路

 

153000

 

9

預真空室

配有磁性傳送臂、帶定制樣品托盤襯托器、全量程真空計、手動插板閥

AJA

美國

1 套

240000

 

10

膜厚監控系統

SQM-160

Inficon

瑞士

1 套

50000

 

11

工作站及控制系統

Phase II-J

AJA

美國

1 套

105000

 

12

水冷機

CW6000AN

特域

中國

1 個

18000

 

13

耗材(常用靶材)

常用靶材總共6個:Al, Ni, Ge, ITO, NiO, TiO2

中諾新材

中國

6 個

22800

 

14

耗材(加熱燈絲)

定制

定制

中國

10 個

58000

 

 

六、評審專家名單:何煌(主任評委)、刁一峰、朱麗琴、劉興武、袁小明(業主評委)

監 委:馬春德

七、公告期限

自本公告發布之日起一個工作日。投標供應商如對此公告有異議的,請于此公告發布之日起七個工作日內,以書面形式向采購人、代理機構一次性提出質疑。

八、其他補充事宜

本次中標公告同時在中國政府采購網(http://www.ccgp.gov.cn/)中南大學校園網(http://tz.its.csu.edu.cn/)、中南大學采購與招標管理中心網(http://czzx.csu.edu.cn/)上發布。

九、凡對本次公告內容提出詢問,請按以下方式聯系

1、采購人信息

名  稱:中南大學

地  址:長沙市麓山南路932號

聯系人:張老師

聯系方式:0731-88836937

2、招標代理機構信息

名 稱:湖南省招標有限責任公司

地  址:長沙市雨花區湘府東路199號招標大廈

聯系人:張女士   王女士

聯系方式:0731-84511088

3、項目聯系方式

項目申購單位:高等研究中心

項目聯系人:吳老師

聯系電話:15200890109

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